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光刻機(jī)就是通過一系列的光源能量、形狀控制手段,將光束透射過畫著線路圖的掩模,經(jīng)物鏡補(bǔ)償各種光學(xué)誤差,將線路圖成比例縮小后映射到硅片上。然后使用化學(xué)方法顯影,得到刻在硅片上的電路圖(即芯片)。為了保證微納米尺度下的加工,光刻機(jī)的工作環(huán)境需要超潔凈環(huán)境。
電鍍處理過程中所用的設(shè)備主要有各類固定槽、滾鍍槽、掛具、吊籃等。鍍后處理是對(duì)零件進(jìn)行拋光、出光、鈍化、著色、干燥、封閉、去氫等工作,根據(jù)需要選用其中一種或數(shù)種工序使零件符合質(zhì)量要求。
砂輪機(jī)是用來刃磨各種刀具、工具的常用設(shè)備,也用作普通小零件進(jìn)行磨削、去毛刺及清理等工作。